Introdução às Microtecnologias no Silício
Pretende-se, com este livro, que alunos e profissionais adquiram os conhecimentos, métodos, técnicas e acções de micro-engenharia que permitam perceber: a Física dos semicondutores c/ ênfase no silício, a microelectrónica c/ destaque p/o processo de fabrico em tecnologia CMOS e as técnicas de micromaquinagem do silício para a criação de microssensores e microactuadores, c/ destaque p/as aplicações biomédicas.
ISBN:
978-972-757-716-3
Autor:
João Paulo Carmo e José Higino Correia
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